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ROBOSTAR
EFEM
1 Port ~ 4 Port LPM 탑재 / Soft and High Speed Safer Handling with AC Servo System Control.
FOOTPRINT 최적화 / FFU 차압 연동 Mode 사용가능 / Enable smooth top down air flow with enclosure structure 구현
OPTION : Pre-ALIGNER, SIDE STORAGE※ 추가로 필요하신 자료는 전화로 문의바랍니다.